Konfokalmikroskop

Das Konfokalmikroskop ermöglicht Messungen von Materialoberflächen im Nanometerbereich. Hierzu können drei verschiedene Messvarianten genutzt werden, die softwareseitig ausgewählt werden.
Zur Verfügung stehen ein konfokaler Laser, die Fokusvariationsmethode und die sogenannte Weißlichtinterferometrie. Es können sowohl allgemeine Übersichten über Messobjekte erstellt als auch Details erfasst werden. Dafür ist das Mikroskop mit mehreren Objektiven verschiedener Vergrößerungen und einem verfahrbaren Messtisch ausgestattet. Die zugehörige Software stellt Funktionen bereit, um die aufgenommenen Messdaten umfangreich analysieren zu können. So sind beispielsweise auch geneigte oder gekrümmte Flächen durch Ausgleichsfunktionen bezüglich der Oberflächenrauigkeit erfassbar.