Konfokalmikroskop
konfokales 3D Laserscanning-Mikroskop Keyence VK X3000
Das Konfokalmikroskop ermöglicht Messungen von Materialoberflächen im Nanometerbereich. Hierzu können drei verschiedene Messvarianten genutzt werden, die softwareseitig ausgewählt werden.
Zur Verfügung stehen ein konfokaler Laser und die Fokusvariationsmethode. Es können sowohl allgemeine Übersichten über Messobjekte erstellt als auch Details erfasst werden. Dafür ist das Mikroskop mit mehreren Objektiven verschiedener Vergrößerungen und einem verfahrbaren Messtisch ausgestattet. Die zugehörige Software stellt Funktionen bereit, um die aufgenommenen Messdaten umfangreich analysieren zu können. So sind beispielsweise auch geneigte oder gekrümmte Flächen durch Ausgleichsfunktionen bezüglich der Oberflächenrauigkeit erfassbar.
Eigenschaften:
- Maximale Auflösung 0,01 nm
- Messbereich bis 100 mm x 100 mm
- Motorisierter XY-Objekttisch und Bildzusammensetzungssoftware (Stitching)
- Oberflächenunabhängiges Messen; auch spiegelnde Oberflächen sind messbar
- Korrektur bzw. Ausgleich von Oberflächeneigenschaften
- Objektive: 2,5X WD 8,8; 5X WD 22,5; 10X WD 16,5; 20X WD3,1 ; 20X WD11; 50X WD 8,7
